浙江巨化股份拟投1.67亿建设电子湿化学品项目,即建设6千吨/年电子级硝酸装置、3千吨/年电子级盐酸装置、10千吨/年电子级硫酸装置及相关配套设施。
电子化学品,一般指为电子工业配套的专用化学品,主要包括集成电路和分立器件用化学品、印制电路板配套用化学品、表面组装用化学品和显示器件用化学品等。
高纯电子化学试剂主要用于芯片的清洗、腐蚀、氧化、掺杂、成膜、光刻和硅圆片及GaAs圆片等半导体材料的表面清洗,它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。
目前,电子化学品的品种已达上万种,它具有质量要求高、用量少、对生产及使用环境洁净度要求高和产品更新换代快等特点。
电子级盐酸。主要应用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀,清除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理,激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。它不仅是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一,而且应用于医药、化工、半导体行业。